超声振动辅助化学机械抛光装备

CSPM-800超声振动辅助化学机械抛光装备，具备温度场、超声等辅助加工能场，可根据工艺参数实时调整抛光液成份及配比。箱体与电机平行的安装在支撑板上；升降平台固定在机壳内底板上，超声振动模块安装在升降平台上，储液箱底面即为超声振动板工作面，加热模块安置于储液箱整个侧壁上，控制系统与旋转系统、上下移动系统组件、主轴系统、加热模块、超声振动模块和升降平台联通，控制调节装备的旋转运动、上下移动、超声振动及加热温度参数，控制系统的操作面板外接在机壳外侧，通过多种能场辅助实现复杂曲面零件的化学机械抛光。