超声振动辅助化学机械抛光机

CSPM-500超声振动辅助化学机械抛光装备，具备超声辅助加工能场，超声振动模块安装在升降平台上，储液箱底面即为超声振动板工作面，控制系统与旋转系统、上下移动系统组件、主轴系统、超声振动模块和升降平台联通，控制调节装备的旋转运动、上下移动、超声振动参数。工件通过法兰盘装夹，间接实现与主轴系统的连接；通过升降平台可调节储液箱的高度，使工件可以浸入储液箱内，再通过控制系统设置超声振动频率及电机转速等抛光工艺参数，以期实现工件的多能场辅助化学机械抛光。