新型稀土抛光液

传统化学机械抛光液，通常含有强酸、强碱和有毒的化工试剂，对操作人员和所处环境具有潜在危害。本公司研制了具有自主知识产权的以稀土、食品添加剂、氨基酸等为主要原料的新型绿色环保、高质高效化学机械抛光液，能够实现材料表面原子级去除和超低损伤控制。


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