多能场辅助化学机械抛光机

CSPM-1000多能场辅助化学机械抛光机采用模块化设计，具备磁场、超声辅助加工能场，可根据工艺参数实时调整抛光液成份及配比。该设备为新一代复杂曲面高质高效超低损伤超精密抛光数控装备，大量磨粒以撞击、滑擦、耕犁的作用形式均匀地去除工件表面毛刺、锈迹、氧化层等表面缺陷，最终获得光滑表面。该设备适用于铝、不锈钢、铜等金属制品，通过引入多能场耦合作用，提高单个磨粒原子层级材料去除的能力，大幅减少抛光过程中的微裂纹形成的可能性。